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小型標準ドライポンプ KRF
常用真空度
KRF04A:
55kPa以下
KRF08A:
推奨60kPa以下
(最高75kPa)
常用排気圧力
KRF04A:
50kPa以下
KRF08A:
推奨60kPa以下
(最高70kPa)
流量:
75~155L/min(60Hz) -
大型標準ドライポンプ KRF
常用真空度:
60kPa(V/B/VB)
常用排気圧力:
80kPa以下(VH/BH/VBH)
流量:
1350~2220L/min(60Hz) -
標準型ドライポンプ KRF
常用真空度:
推奨60kPa以下
(最高80kPa)
※KRF15Aは最高75kP
常用排気圧力:
推奨60kPa以下
(最高70kPa)
流量:
280~685L/min(60Hz) -
6段ルーツ式真空ポンプ CT6-PC
真空ポンプ
6段ルーツ式
水冷式 -
インバータドライ真空ポンプ KCE
0~94kPa
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6段ドライルーツ式真空ポンプ FT6
真空ポンプ
6段ルーツ式
オイルフリー
空冷式 -
ドライルーツ式真空ポンプ FT4-LE
真空ポンプ
小型4段式
オイルフリー
空冷式