圧縮空気冷却装置・ナノサーモ・ACU

エアー温度を±0.01℃に制御

 

温度制御範囲 15.00～40.00℃

 

処理空気量 30～2,100L/min

 

ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MDは除湿機能付で圧力調整も可能

 

 

高精度と省エネを実現する圧縮空気温度調節機です。

ペルチェ温調方式で高精度、そして省エネを実現するナノサーモ(圧縮空気温度調節機)。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、格段の装置性能が得られます。

 

 

圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」の用途例

■精密加工機 ■精密計測機 ■半導体・FPD製造装置 ■分析機器 ■精密塗装機 ■局所空間の精密温調 ■加工物・計測物の温調 ■精密加工機のエアーベアリング ■三次元測定機のエアースライド

 

圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」の主な特徴

高精度制御を実現

電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を最大限発揮します。

 

低振動、低騒音

コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。

 

 

圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」仕様

型式			ACU	100-MD	300-MD	600-MD	1000B	2000B
適用流体				圧縮空気
使用 範囲	使用圧力範囲 （ゲージ圧）		MPa	0.2～0.85			0.2～0.83
	出口圧力調整範囲 （ゲージ圧）		MPa	0.05～0.83			–
	入口空気温度		℃	5～40			15～35	15～30
	出口温度設定範囲		℃	16～30			15～35	15～40
	出口空気流量		L/min	30～130※2	50～390※3	130～600※3	130～1000※3	330～2100
	周囲温度		℃	18～25
	入口空気水蒸気含有量		℃	飽和以下			圧力下10℃以下
基本 性能	出口空気露点 （大気圧下）		℃	-17以下※4			–
	出口空気温度制御精度※1		℃	設定値±0.01※1
	条件	出口設定温度	℃	23
		入口空気温度	℃	5～40			15～28
		入口空気圧力 （ゲージ圧）	MPa	0.7
		入口空気流量	L/min	125	375	750	1000	2100
		出口空気流量	L/min	100	300	600	1000	2100
		パージ空気流量	L/min	25	75	150	0	0
		周囲温度	℃	25
電気 特性	電源		V(Hz)	単相100±10%(50/60)				単相200±10%(50/60)
	最大運転電流		A	4	5
	電源容量		kVA	0.4	0.5			1
	遮断器容量		A	10
温度制御方式				ペルチェ式定電流制御（PID制御）
放熱方式				空冷式
除湿方式				中空糸膜式			–
出入口配管接続口径				Rc1/4	Rc3/8	Rc1/2		Rc3/4
外装				塗装色：N5.5/N8.0
機器細目				エアーフィルタ・ミクロミストフィルタ・ 膜式ドライヤー・レギュレータ・ フロースイッチ内蔵※5			フロースイッチ内蔵
質量			kg	28	36	38	35	45
外形寸法（高さ×奥行×幅）			mm	490×500×240	510×550×320			530×600×320

※1　出口空気流量、入口空気温度、周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。（入口空気温度勾配：1℃/10min以内）

※2　出口空気圧力が0.4MPa以上の場合、最低出口空気流量は45L/min以上で使用してください。

※3　入口空気圧力が0.25MPa以下のとき、本機内圧力損失により、最大流量は次の様になります。
　　   ACU300-MD：270L/min、ACU600-MD：520L/min、ACU1000B：870L/min

※4　入口空気温度28℃時。

※5　フィルタを搭載しておりますが出口空気ろ過度を保証するものではありません。

※  　空気流量は、圧縮機の吸込状態（大気圧、20℃、65%）に換算した値です。

※  　詳細はお問い合わせより仕様書をお取り寄せの上、ご参照願います。

注) 　ACU600-MDは受注生産品です。

 

 

外形図・構造図

 

 

 

ご注意

風通しを良くするために、また保守点検をしやすくするために充分なスペースを確保してください。